1：制备二氧化硅质的凝胶

四种氯化硅水解制备硅胶，或将有机硅化合物（如四甲氧基硅烷）水解生成硅胶，或通过气相二氧化硅形成二氧化硅凝胶 。

2： 造粒过程

通过干燥两种二氧化硅的凝胶，并成为干燥粉，在粉碎干燥粉末、分级并获得预期的硅粉平均粒径后。

3： 烧结工艺

造粒过程中得到的二氧化硅粉末在800℃~1450℃温度下烧结。热等离子体球化工艺用于将烧结过程中获得的硅粉以预定的供给速率放入等离子焊炬中，该焊炬以预定的流速加入氩气，并以预定的高频输出功率产生等离子体。氧化硅的沸点温度被加热融化了。

4： 清洗工艺

经过上述球化处理后，去除附着在球化硅粉表面的微粉。

5： 干燥工艺

上述清洗工序后的硅粉干燥